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スパッタリングプロセス用
スパッタリングプロセス用クライオポンプは、排気容量をアップすることにより再生インターバルが長くなり、裝置の稼働率の向上に貢獻します。
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スパッタリングプロセス用クライオポンプは、排気容量をアップすることにより再生インターバルが長くなり、裝置の稼働率の向上に貢獻します。