製品情報
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製品情報 Product information
極低溫実験裝置クライオスタット（Cryostat）
ウエハー冷卻用クライオスタット
特長
従來のクライオスタットでは半導體をチップの狀態でしか測定できませんでしたが、本クライオスタットを使用することにより、ウエハー狀態で室溫から極低溫まで自在に溫度コントロールすることができます。
また、マニピュレーターを裝備しており、ウエハーを冷卻しながらプロービングす ることができます。
（巖谷瓦斯社 低溫機器製品 継承）
詳細図
標準仕様
| 冷凍機 | HE05/UW404 | D510/SA115?SW115 | S030/SA115?SW115 |
| 到達溫度 | 10K以下 | 25K | 40K |
| 溫度制御範囲 | 10K～300K ±0.2K | 25K～300K ±0.2K | 40K～300K ±0.2K |
| 最大ウエハー寸法 | 2インチ | ||
| サンプル部振動値 | 1μm以下（床振動が2μm以下） | ||
| 付屬品 | マニピュレーター2または4基 プローバー、同軸プローバー 真空排気弁、溫度制御用ヒーター 溫度センサー（溫度制御用、計測用） |
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