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製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [30型]
CRYO-U30H

特長

  1. 大型成膜裝置、スペースチャンバー等に最適。
  2. 水に対する排気速度は最大。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 28,000
水素 43,000
アルゴン 23,000
70,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa?L/s(Torr?L/s) 2.7×103(20)
水素 7.4×102(5.6)
排気容量 アルゴン Pa?L(Torr?L) 7.8×108(5.9×106)
水素 1.5×107(1.1×105)
冷卻降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 240/200(50/60)
吸気口フランジ VG-750
コンプレッサユニット C30VR×2
質量 Kg 175.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間

U22H,U30Hは、外國為替および外國貿易管理法の規(guī)定により戦略物資等輸出規(guī)制品に該當します。
日本國外に持ち出す際は日本國政府の輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。

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