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製品情報(bào) Product information

標(biāo)準(zhǔn)型クライオポンプ [22型]
CRYO-U22P

外形寸法 (単位:mm)

標(biāo)準(zhǔn)仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 11,500
水素 14,000
アルゴン 9,700
39,000
到達(dá)圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa?L/s(Torr?L/s) 1.7×103(12.8)
水素 5.0×102(3.7)
排気容量 アルゴン Pa?L(Torr?L) 5.8×108(4.4×106)
水素 6.0×106(4.5×104)
冷卻降下時(shí)間
(電力サイクル)
min(Hz) 180/170(50/60)
吸気口フランジ UVG-550
コンプレッサユニット C30PVRT
質(zhì)量 Kg 115.0

*メンテナンスインターバル:16,000時(shí)間

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