製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [20型]
CRYO-U20P
特長
- 大型成膜裝置等の生産裝置に最適。
- バッチ式大型成膜裝置に最適。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 10,000 |
| 水素 | 18,000 | ||
| アルゴン | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.1×103(8.7) |
| 水素 | 5.0×102(3.7) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 水素 | 4.6×106(3.4×104) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 180/160(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-500 | ||
| コンプレッサユニット | C30VR | ||
| 質量 | Kg | 69.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
