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| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 10,000 |
| 水素 | 18,000 | ||
| アルゴン | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.7×103(12.8) |
| 水素 | 5.0×102(3.7) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 水素 | 4.6×106(3.4×104) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 160/140(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-500,20BANSI,ISO-500 | ||
| コンプレッサユニット | C30PVRT | ||
| 質量 | Kg | 72.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
アルバック?クライオ株式會社
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〒 253-0085 神奈川県茅ヶ崎市矢畑1222-1
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営業 ：0467-85-8884
サービス技術：0467-85-9366
生産管理 ?。?span data-action="call" data-tel="0467-85-9505">0467-85-9505
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