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| EMP-07A?W/EMP-14A?W用 | EMP-20W用 | |
| 窒素ガス発生裝置 | 型式：GN-10i | 型式：GN-15i |
| 窒素ガス純度 | 99％（N2＋Ar） | 99％（N2＋Ar） |
| 窒素ガス発生量 | 10NL/min | 15NL/min |
| 窒素ガス圧力 | 0.2MPa | 0.2MPa |
| 窒素ガス露點 | -60℃以下 | -60℃以下 |
| 仕様周囲溫度 | 5～40℃ | 5～40℃ |
| 仕様周囲濕度 | 10～80％RH | 10～80％RH |
| 寸法（W×D×H） | 400×460×900mm | 480×620×1015mm |
| 重量 | 約60kg | 約90kg |
| 電源 | AC100V単相 | AC100V単相 |
| 消費電力 | 約400W（50Hz/60Hz） | 約0.8kW |
| ブレーカー容量 | 15A以上 | 20A以上 |
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