製品情報
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製品情報 Product information
標(biāo)準(zhǔn)型クライオポンプ [8型]
CRYO-U8HL
特長
- 高さ方向が短く、コンパクトなデザイン。
- 裝置のダウンサイジングに対応。
- マルチ運転（最大3臺）が可能。
- 他のサイズのポンプでも製造が可能。
外形寸法 (単位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 1,500 |
| 水素 | 2,200 | ||
| アルゴン | 1,200 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.2×103(8.9) |
| 水素 | 1.6×102(1.2) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 1.6×108(1.2×106) |
| 水素 | 1.2×106(9.0×103) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 100/90(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-200 | ||
| コンプレッサユニット | C10, C10AT, C10ES | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 20 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
