製品情報 Product information
標(biāo)準(zhǔn)型クライオポンプ [4型]
CRYO-U4H
特長
- 4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。
- 高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄與します。
- 特に半導(dǎo)體製造裝置のスパッタプロセスや小規(guī)模の裝置に適しています。
- １臺のコンプレッサーで4臺までのポンプを運(yùn)転することが可能です。
- ご使用の用途に合わせた設(shè)計、製作が可能です。
外形寸法 (単位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)仕様
| 排気速度(20℃) |
窒素 |
L/s |
450 |
| 水素 |
500 |
| アルゴン |
370 |
| 水 |
1,100 |
| 到達(dá)圧力 |
Pa |
10-7 |
| 最大流量 |
アルゴン |
Pa?L/s |
1.3×103 |
| 排気容量 |
アルゴン |
Pa?L |
1.0×107 |
| 水素 |
1.5×105 |
| 冷卻降下時間 |
min(50/60Hz) |
45/50 |
| 質(zhì)量 |
Kg |
14.5 |
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