製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [22型]
CRYO-U22H
特長
- 大型成膜裝置に最適。
- 水に対する排気速度は最大。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 17,000 |
| 水素 | 25,000 | ||
| アルゴン | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 4.1×103(31) |
| 水素 | 1.3×103(9.6) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 水素 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 150/135(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-550 | ||
| コンプレッサユニット | C30VR×2 | ||
| 質量 | Kg | 125.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
U22H,U30Hは、外國為替および外國貿易管理法の規定により
戦略物資等輸出規制品に該當します。
日本國外に持ち出す際は日本國政府の輸出許可申請等必要な手続きを
お取りください。
