製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [12型]
CRYO-U12H
特長
- 中、大規模生産裝置に最適。
- 熱負荷に強く、多様なプロセスに対応。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 4,000 |
| 水素 | 6,000 | ||
| アルゴン | 3,300 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.0×103(15) |
| 水素 | 4.1×102(3.1) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 2.1×108(1.6×106) |
| 水素 | 9.8×105(7.4×103) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 85/75(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-300,10BANSI | ||
| コンプレッサユニット | C30VR | ||
| 質量 | Kg | 40.0 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
*移動ベースはオプションです
