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製品情報(bào) Product information

再生用コントロールユニット

特長(zhǎng)

■構(gòu)成

  • 再生用コントロールユニット
  • 電源ボックス(オプション)
  • 再生ガス配管ユニット
    (ドライN2ガス導(dǎo)入用)(PR型)
  • 再生用バンドヒーター(RBH型)

現(xiàn)在お手持ちのクライオポンプをマニュアルでご使用の場(chǎng)合、また新しく クライオポンプを使用する排気系や真空裝置をご計(jì)畫中、或いは油拡散ポンプや ターボ分子ポンプとのリプレースの場(chǎng)合など再生を自動(dòng)的に行うことが可能です。
メインバルブのコントロールから再生終了まですべて自動(dòng)で行い、カレンダータイマー を指定時(shí)間にセットすれば、裝置の停止時(shí)間帯に再生を行い必要な時(shí)間までに クライオポンプをスタンバイできます。
また、ご要望のフローに合わせてシーケンスの変更が可能です。

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