製品情報(bào)
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製品情報(bào) Product information
再生用コントロールユニット
特長(zhǎng)
■構(gòu)成
- 再生用コントロールユニット
- 電源ボックス(オプション)
- 再生ガス配管ユニット
(ドライN2ガス導(dǎo)入用)(PR型) - 再生用バンドヒーター(RBH型)
現(xiàn)在お手持ちのクライオポンプをマニュアルでご使用の場(chǎng)合、また新しく クライオポンプを使用する排気系や真空裝置をご計(jì)畫中、或いは油拡散ポンプや ターボ分子ポンプとのリプレースの場(chǎng)合など再生を自動(dòng)的に行うことが可能です。
メインバルブのコントロールから再生終了まですべて自動(dòng)で行い、カレンダータイマー を指定時(shí)間にセットすれば、裝置の停止時(shí)間帯に再生を行い必要な時(shí)間までに クライオポンプをスタンバイできます。
また、ご要望のフローに合わせてシーケンスの変更が可能です。