製品情報
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製品情報 Product information
スパッタリングプロセス用クライオポンプ
CRYO-U8HSP
特長
- スパッタリングプロセスに最適。
- アルゴンの排気量は従來機種(U8H)の約2.5倍。
- 水素の排気速度は従來機種(U8H)の約1.2倍に向上。
- 再生までのインターバルが長くなり、裝置の稼働率の向上に貢獻。
- マルチ運転（最大3臺）が可能。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 1,700 |
| 水素 | 3,200 | ||
| アルゴン | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.2×103(8.9) |
| 水素 | 2.4×102(1.8) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa?L(Torr?L) | 2.5×108(1.9×106) |
| 水素 | 1.0×106(7.8×103) | ||
| 冷卻降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
| コンプレッサユニット | C10,C10ES | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 33.2 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
