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[クライオポンプの技術(shù)情報 1 ]
代替フロン系コールドトラップに替わるヘリウム冷凍機を用いた極低溫トラップを発売
2000年10月27日
-業(yè)界初、10分以內(nèi)に冷卻、昇溫が可能-
代替フロン系コールドトラップに替わる
ヘリウム冷凍機を用いた極低溫トラップを発売
このたびフロン系コールドトラップに替わるヘリウム冷凍機を用いた極低溫スーパートラップ（スピードシリーズ TS 型、水分子に対する排気速度10,000～100,000L/s）の販売を開始いたしました。
バッチ式の真空裝置や光學(xué)用の成膜裝置では、真空排気時と蒸著時に基板などから放出される水を効率よく排気するために、蒸著室內(nèi)または主バルブと蒸著室の間の排気ラインに極低溫面を配置し、排気時間の短縮や水分の分圧の低減を図っています。
真空蒸著は、ミラー、ラジエター、ハンドル、スイッチなどの自動車部品や、メガネ、時計カバー、カメラなどの高額精密部品、化粧品容器や裝飾品などの生活用品にいたるまで応用されており、それらの蒸著を行うばあいには、大量の水分子が生じるため、代替フロン系のコールドトラップが使用されています。
ところで、代替フロン（HFC）は、オゾン層を破壊しないと言われているものの、CO2の數(shù)百萬から1萬數(shù)千倍もの溫室効果があるといわれています。地球溫暖化防止京都會議での焦點ともなっていました。
今回販売する製品に使われるヘリウムガスは、オゾン層や地球溫暖化係數(shù)が0で環(huán)境に問題がありません。
これまでヘリウムガスを使用した小型冷凍機では、フロン系のコールドトラップのように短時間で冷卻することが技術(shù)的に困難でしたが、今回、大型の冷凍機の開発に成功したため、代替フロン系コールドトラップに代わる地球環(huán)境にやさしいトラップが商品化されました。
今回発売いたしました TS 型は、これまでの代替フロン系コールドトラップ以上の性能に設(shè)計されており、100K（ケルビン）～130K 以下の溫度に到達(dá)できます。従來は、できなかった10分以內(nèi)に冷卻、昇溫が各々完了することができる畫期的なものです。
しかも、代々フロン系コールドトラップで、使用されるコンプレッサーに比べ、TS型トラップのコンプレッサーは、小型軽量で、設(shè)置場所にも制限がありません。また、冷媒の配管は、斷熱の必要がなく、結(jié)露の心配もなくなりました。しかも、標(biāo)準(zhǔn)納期は、1.5ヶ月と短く、低価格な點も大きなメリットです。
また、サービス體制は、アルバックの全國サービスネットワークが利用でき、韓國、臺灣等海外へも拡充する予定です。
また、すでにお使いの代替フロン系コールドトラップはばかりでなく、液體窒素トラップとの置き換えも容易です。
重要技術(shù)に関しては、特許出願中です。
