製品情報(bào) Product information
[クライオポンプQ&A 1 ]
アルバック?クライオについて
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Q1
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「ULVAC」とはどういう意味ですか？
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A1
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「Ultimate in Vacuum」を略したもので「究極の真空」という意味です。
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Q2
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「ULVAC CRYO」とはどういう意味ですか？
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A2
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CRYOはCryogenicsを略したもので、低溫技術(shù)とか低溫工學(xué)という意味です。
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Q3
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クライオポンプはどういうところに使用されていますか？
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A3
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清浄な高真空、極高真空が要求される裝置（例えば蒸著裝置、スパッタリング裝置、イオン注入裝置、半導(dǎo)體プロセス裝置、加速器、核融合裝置、表面分析裝置、スペースチャンバー等）で使用され、半導(dǎo)體や液晶、ディスク等の電子部品やメガネレンズなどの成膜裝置等に広く応用されています。
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Q4
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メンテナンス體制はどうなっていますか？
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A4
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弊社出荷後は、アルバックテクノ、アルバック九州等、全國20ヶ所以上のサービス拠點(diǎn)より、きめの細(xì)かいサービスを提供しております。
詳細(xì)については、サポートをご覧下さい。
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