產品信息
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產品信息
標準低溫泵22型
CRYO-U22H
特征
- Suitable for large deposition systems.
- Larger pumping speed for water.
外形尺寸（單位：mm）
標準規格
| 排氣速度（20℃） | 氮氣 | L/s | 17,000 |
| 氫氣 | 25,000 | ||
| 氬氣 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 4.1×103(31) |
| 氫氣 | 1.3×103(9.6) | ||
| 排氣量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 氫氣 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷卻下降時間 | min(Hz) | 150/135(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-550 | ||
| 壓縮機裝置 | C30VR×2 | ||
| 重量 | kg | 125.0 | |
*保養周期：16,000小時
Export permission of the Ministry of Economy, Trade and Industry is required for export of U22H and U30H.
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
COMBINATION OF CRYOPUMP AND COMPRESSOR UNIT
