產品信息
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產品信息
濺射鍍膜專用低溫泵
CRYO-U8HSP
特征
排氣量最大
- 氬氣排氣量約為標準機型（U8H）的2.5倍。
- 氫氣排氣速度約提高1.2倍。
外形尺寸（單位：mm）
標準規格
| 排氣速度（20℃） | 氮氣 | L/s | 1,700 |
| 氫氣 | 3,200 | ||
| 氬氣 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.2×103(8.9) |
| 氫氣 | 2.4×102(1.8) | ||
| 排氣量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 2.5×108(1.9×106) |
| 氫氣 | 1.0×106(7.8×103) | ||
| 冷卻下降時間 | min(Hz) | 125/115(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
| 壓縮機裝置 | C10,C10ES | ||
| 重量 | Kg | 33.2 | |
*保養周期：16,000小時
*移動底座是選購件
