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產(chǎn)品信息

標(biāo)準(zhǔn)低溫泵16型
CRYO-U16

特征

  1. Suitable for medium and large-size equipments.
  2. Suitable for batch type large deposition systems.
  3. Resistant to thermal load.

外形尺寸(單位:mm)

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃) 氮?dú)?/td> L/s 5,000
氫氣 10,000
氬氣 4,200
16,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氬氣 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.4×103(11.0)
氫氣 4.1×102(3.1)
排氣量 氬氣 Pa?L(Torr?L) 4.3×108(3.3×106)
氫氣 2.4×106(1.8×104)
冷卻下降時(shí)間 min(Hz) 110/100(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-400
壓縮機(jī)裝置 C30VR
重量 kg 61.0

Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
*保養(yǎng)周期:16,000小時(shí)

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