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產(chǎn)品信息

濺射鍍膜專用低溫泵
CRYO-U8HSP

特征

排氣量最大

  1. 氬氣排氣量約為標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型(U8H)的2.5倍。
  2. 氫氣排氣速度約提高1.2倍。

外形尺寸(單位:mm)

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃) 氮?dú)?/td> L/s 1,700
氫氣 3,200
氬氣 1,400
4,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氬氣 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.2×103(8.9)
氫氣 2.4×102(1.8)
排氣量 氬氣 Pa?L(Torr?L) 2.5×108(1.9×106)
氫氣 1.0×106(7.8×103)
冷卻下降時間 min(Hz) 125/115(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-200,6BANSI,UFC-253
壓縮機(jī)裝置 C10,C10ES
重量 Kg 33.2

*保養(yǎng)周期:16,000小時
*移動底座是選購件

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