產(chǎn)品信息
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產(chǎn)品信息
濺射鍍膜專用低溫泵
CRYO-U12HSP
特征
- 氬氣排氣量約為標(biāo)準(zhǔn)機型（U12H）的2倍。
- 氫氣排氣速度約為標(biāo)準(zhǔn)機型（U12H）的1.5倍。
- 有效延長了再生間隔時間，提高了裝置運轉(zhuǎn)率，增強了成膜品質(zhì)。
外形尺寸（單位：mm）
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 排氣速度（20℃） | 氮氣 | L/s | 4,100 |
| 氫氣 | 6,000 | ||
| 氬氣 | 3,400 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.0×103(15.0) |
| 氫氣 | 4.1×102(3.1) | ||
| 排氣量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 4.4×108(3.3×106) |
| 氫氣 | 1.6×106(1.2×104) | ||
| 冷卻下降時間 | min(Hz) | 90/80(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-300,10BANSI | ||
| 壓縮機裝置 | C30VR | ||
| 重量 | Kg | 42 | |
*保養(yǎng)周期：16,000小時
*移動底座是選購件
