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產品信息

標準低溫泵30型
CRYO-U30H

特征

  1. Suitable for large deposition systems, space chambers, etc.
  2. Larger pumping speed for water.

外形尺寸(單位:mm)

標準規格

排氣速度(20℃) 氮氣 L/s 28,000
氫氣 43,000
氬氣 23,000
70,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氬氣 Pa?L/s(Torr?L/s) 2.7×103(20)
氫氣 7.4×102(5.6)
排氣量 氬氣 Pa?L(Torr?L) 7.8×108(5.9×106)
氫氣 1.5×107(1.1×105)
冷卻下降時間 min(Hz) 240/200(50/60)
吸氣口法蘭 VG-750
壓縮機裝置 C30VR×2
重量 kg 175.0

*保養周期:16,000小時

Export permission of the Ministry of Economy, Trade and Industry is required for export of U22H and U30H.
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
COMBINATION OF CRYOPUMP AND COMPRESSOR UNIT

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