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產品信息

濺射鍍膜專用低溫泵
CRYO-U10HSP

標準規格

排氣速度(20℃) 氮氣 L/s 2,400
氫氣 3,600
氬氣 2,000
6,900
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氬氣 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.30×103(9.8)
氫氣 2.1×102(1.6)
排氣量 氬氣 Pa?L(Torr?L) 2.0×108(1.5×106)
氫氣 1.2×106(9.0×103)
冷卻下降時間 min(Hz) 120/110(50/60)
吸氣口法蘭e UVG-250,10BANSI
壓縮機裝置 C15R
重量 Kg 36.0

*保養周期:16,000小時
*移動底座是選購件

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