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產(chǎn)品信息

濺射鍍膜專用低溫泵
CRYO-U12HSP

特征

  1. 氬氣排氣量約為標準機型(U12H)的2倍。
  2. 氫氣排氣速度約為標準機型(U12H)的1.5倍。
  3. 有效延長了再生間隔時間,提高了裝置運轉(zhuǎn)率,增強了成膜品質(zhì)。

外形尺寸(單位:mm)

標準規(guī)格

排氣速度(20℃) 氮氣 L/s 4,100
氫氣 6,000
氬氣 3,400
9,500
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氬氣 Pa?L/s(Torr?L/s) 2.0×103(15.0)
氫氣 4.1×102(3.1)
排氣量 氬氣 Pa?L(Torr?L) 4.4×108(3.3×106)
氫氣 1.6×106(1.2×104)
冷卻下降時間 min(Hz) 90/80(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-300,10BANSI
壓縮機裝置 C30VR
重量 Kg 42

*保養(yǎng)周期:16,000小時
*移動底座是選購件

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