產品信息
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產品信息
標準低溫泵22型
CRYO-Optic U28
外形尺寸（單位：mm）
標準規格
| 排氣速度（20℃） | 氮氣 | L/s | 13,000 |
| 氫氣 | 16,500 | ||
| 氬氣 | 11,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 3.5×103(26) |
| 氫氣 | 1.3×103(9.6) | ||
| 排氣量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 氫氣 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷卻下降時間（電力循環） | min(Hz) | 165/150(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-550 | ||
| 壓縮機裝置 | C30PMVRT×1 | ||
| 重量 | Kg | 125.0 | |
*保養周期：16,000小時
