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產品信息

標準低溫泵20型
CRYO-U20P

特征

  1. Suitable for large deposition systems and other production equipment.
  2. Suitable for batch type large deposition systems.

外形尺寸(單位:mm)

標準規格

排氣速度(20℃) 氮氣 L/s 10,000
氫氣 18,000
氬氣 8,400
29,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氬氣 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.1×103(8.7)
氫氣 5.0×102(3.7)
排氣量 氬氣 Pa?L(Torr?L) 5.8×108(4.4×106)
氫氣 4.6×106(3.4×104)
冷卻下降時間 min(Hz) 180/160(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-500
壓縮機裝置 C30VR
重量 kg 69.0

*保養周期:16,000小時
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.

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