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產(chǎn)品信息

再生用帶式加熱器 RBH型

特征

安裝簡(jiǎn)易,縮短升溫時(shí)間
可縮短低溫泵升溫時(shí)間,促進(jìn)水氣蒸發(fā),使再生更加完善,并可縮短粗抽時(shí)間。
此外,帶式加熱器非常薄,在狹小空間也能安裝。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

Type Cryopump Outside Dimension (mm) Current (Amp.) Fuse
Max Nomal (A)
RBH-6 U6H 170×495 1.3 0.2 5
RBH-8 U8H 170×650 1.5 0.4 5
U8H-U
RBH-8HSP U18HSP 170×790 2.7 0.4 5
RBH-10 U10H 170×850 2.7 0.4 5
RBH-12 U12H 190×940 2.9 0.6 5
U12HSP
RBH-16 U16 260×1,290 5.0 0.9 10
U16P
RBH-20 U20P 260×1,665 7.5 1.5 10
U20H
RBH-22P U22P 260×1,900 8.3 1.7 20
RBH-22 U22H 302×1,900 11.5 2.0 20
RBH-30 U30H 320×2,525 14.6 2.7 30

Electrical requirements:AC200V, single phase 50/60Hz (usable with AC100V)

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