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產品信息

低溫恒溫器
晶元冷卻用

特征

讓半導體在晶元狀態下進行檢測
以往的極低溫冷卻設備只能在半導體的芯片狀態下進行檢測,然而使用低溫恒溫器可以使之在晶元狀態下,從室溫到極低溫自由控制溫度。并且,因配備了控制器,可以在冷卻的同時進行測試。

細節圖

標準規格

冷頭 HE05/UW404 D510/SA115?SW115 S030/SA115?SW115
達到溫度 10K以下 25K 40K
溫度控制范圍 10K to 300K ±0.2K 25K to 300K ±0.2K 40K to 300K ±0.2K
最大晶元尺寸 2英寸
樣本架振動值 1μm 以下(地面震動2μm 以下)
附屬品 真空排氣閥, 溫控用加熱器, 極低溫溫度計(溫控用/測溫用)
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