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產品信息

標準低溫泵8型
CRYO-U8H

特征

  1. Light-weight and compact. A large number have already been shipped. Our standard cryopump.
  2. For experimental systems and small-size equipments.
  3. Multiple operation (up to 3 units)
  4. Ultra-high vacuum (10-8 Pa or lower)

外形尺寸(單位:mm)

標準規格

排氣速度(20℃) 氮氣 L/s 1,700
氫氣 2,700
氬氣 1,400
4,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氬氣 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.2×103(8.9)
氫氣 2.4×102(1.8)
排氣量 氬氣 Pa?L(Torr?L) 1.0×108(7.6×105)
氫氣 1.0×106(7.6×103)
冷卻下降時間 min(Hz) 100/90(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-200,6BANSI,UFC-253
壓縮機裝置 C10, C10AT, C10ES
重量 kg 20.8

Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
*保養周期:16,000小時

COMBINATION OF CRYOPUMP AND COMPRESSOR UNIT

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