產品信息
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產品信息
濺射鍍膜專用低溫泵
CRYO-U10HSP
標準規格
| 排氣速度（20℃） | 氮氣 | L/s | 2,400 |
| 氫氣 | 3,600 | ||
| 氬氣 | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.30×103(9.8) |
| 氫氣 | 2.1×102(1.6) | ||
| 排氣量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 2.0×108(1.5×106) |
| 氫氣 | 1.2×106(9.0×103) | ||
| 冷卻下降時間 | min(Hz) | 120/110(50/60) | |
| 吸氣口法蘭e | UVG-250,10BANSI | ||
| 壓縮機裝置 | C15R | ||
| 重量 | Kg | 36.0 | |
*保養周期：16,000小時
*移動底座是選購件
