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產品信息

標準低溫泵22型
CRYO-Optic U28

外形尺寸(單位:mm)

標準規格

排氣速度(20℃) 氮氣 L/s 13,000
氫氣 16,500
氬氣 11,000
39,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氬氣 Pa?L/s(Torr?L/s) 3.5×103(26)
氫氣 1.3×103(9.6)
排氣量 氬氣 Pa?L(Torr?L) 8.1×108(6.1×106)
氫氣 8.5×106(6.4×104)
冷卻下降時間(電力循環) min(Hz) 165/150(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-550
壓縮機裝置 C30PMVRT×1
重量 Kg 125.0

*保養周期:16,000小時

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