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特征

可代替氟利昂冷阱

1. 大幅縮短排氣時間，提高裝置的運轉效率。
2. 因使用氦氣，地球暖化系數為零。
   （氟利昂冷阱的地球暖化系數為1,600～3,800）
3. 性能等高于氟利昂冷阱。
4. 冷卻、升溫均在10分鐘以內完成。
5. 有效排氣速度為10,000～100,000L/s。
6. 因輕便、緊湊，實施操作起來簡單。（設置空間只需氟利昂冷阱的1/3）
7. 最適用于水分多的批處理式裝置，光學成膜裝置（適用于所有真空裝置）。